Аналіз причин повільної точності вакуумування швидкості вакуумного покриття

Причини повільної точності вакуумування швидкості вакуумного покриття в основному знаходяться з наступних аспектів:
По -перше, дифузійний насос може бути не дуже хорошим.
Рішення: Ви можете використовувати іонізатор для вимірювання порту насоса єдиного дифузійного насоса, щоб побачити, наскільки єдиний дифузійний насос може насос, а потім подивитися на час і межу всмоктування, а потім порівняти.
2. У вакуумній системі спостерігається незначний витік.
Рішення: Потрібно повільно виявити витік, щоб побачити, чи може час вакуумування відповідати стандарту.
3. Коробка занадто брудна, а газ занадто брудний.
Рішення: Очистіть коробку
.
Розчин: Передню трубку можна виявити лише за допомогою лічильника опору.