Обладнання з розпиленням магнетронів відіграє ключову роль у багатьох сферах, таких як обробка поверхні матеріалу та підготовка плівки. Щоденне обслуговування має важливе значення для забезпечення стабільної роботи обладнання, продовження терміну служби та забезпечення якості розпиленої плівки. Наступні будуть розроблені ключовими точками щоденного обслуговування обладнання для розпилення магнетрона.
Технічне обслуговування вакуумної системи
1. Підтримка вакуумного насоса: вакуумний насос є основним компонентом вакуумної системи розпилювального обладнання магнетрона. Регулярно перевіряйте рівень масла вакуумного насоса, щоб переконатися, що рівень масла знаходиться в межах норми. Після тривалого вживання продуктивність вакуумного насосного масла погіршиться через адсорбцію домішок та вологи. Як правило, вакуумний насосний масло потрібно замінювати кожен певний період роботи (наприклад, 2000 годин). У той же час зверніть увагу на перевірку герметичності ременя вакуумного насоса. Занадто пухкий ремінь призведе до нестабільної швидкості вакуумного насоса та вплине на ефективність вихлопу; Занадто щільно може прискорити знос пояса. Якщо на ремені є ознаки зносу або старіння, його слід замінити вчасно.
2. Очищення вакуумних труб: Вакуумна труба - це канал, що з'єднує вакуумний насос і розпилююча камера, яку легко поглинати пил, домішки та частинки, що утворюються в процесі розпилення. Регулярно використовуйте спеціальний інструмент для очищення вакуумних труб для очищення внутрішньої частини труби для видалення прикріплених домішок. Для деталей, які важко очистити, можна використовувати газову чистку, але чистота чистого газу необхідно забезпечити. Крім того, перевірте герметичність труби, щоб побачити, чи є якісь витоки. Невеликий витік може призвести до того, що ступінь вакууму не досягне ідеального стану, що впливає на ефект розпилення. Для виявлення витоків у трубі може бути використаний детектор гелійного мас -спектрометра, а витоки можуть бути відремонтовані вчасно.
3. Калібрування вакуумних датчиків: вакуумний датчик використовується для вимірювання ступеня вакууму вакуумної системи, а її точність вимірювання безпосередньо пов'язана з рішенням оператора операційного стану обладнання. Регулярно калібруйте вакуумний датчик, і, як правило, рекомендується калібрувати його раз на півроку або один рік. Процес калібрування повинен здійснюватися відповідно до посібника з експлуатації, який надає виробник обладнання, а стандартне калібрувальне обладнання повинно використовуватися для забезпечення того, щоб дані про ступінь вакууму, виміряні вакуумним датчиком, були точними та надійними.
Розплетення Цільового обслуговування
1. Очищення цільової поверхні: Під час процесу розпилення продукти розпилення та домішки поступово відкладуть на цільовій поверхні, впливаючи на швидкість розпилення та якість плівки. Після кожного використання обладнання цільова поверхня повинна бути очищена вчасно. Для металевих цілей спеціальна щітка для очищення цільової може використовуватися для акуратного вирізання поверхневих відкладень; Для деяких більш чутливих цілей, таких як керамічні цілі, необхідний більш ніжний метод очищення, наприклад, обережно витирання чистою м'якою тканиною, змоченою у відповідній кількості спеціального очищення. Уникайте використання гострих інструментів, щоб подряпати поверхню цілі, щоб уникнути пошкодження цілі.
2. Огляд цільової установки: регулярно перевіряйте встановлення цілі, щоб переконатися, що ціль міцно встановлена. Ціль буде обстрілена високошвидкісними іонами під час процесу розпилення. Якщо він не буде міцно встановлений, це може призвести до того, що ціль струшується або навіть відпадає, що не тільки вплине на ефект розпилення, але й пошкодить обладнання. Перевірте, чи добре з'єднання між цією та джерелом живлення розпилення. Розпущено зв'язок може призвести до нестабільного процесу розпилення і спричинити аномальні явища, такі як іскрування. Якщо з'єднання виявляється пухким, з'єднувальні болти повинні бути затягнуті вчасно.
3. Цільовий моніторинг терміну служби: різні типи цільових матеріалів мають свій конкретний термін служби. Зверніть пильну увагу на час розпилення та ефект розпилення цілі. Коли швидкість розпилення цілі значно падає, а якість плівки коливається, це може означати, що ціль близька до терміну служби. Замініть цільовий матеріал вчасно, щоб забезпечити стабільність процесу розпилення та послідовність якості плівки. У той же час запишіть час використання та пов'язані з ними параметри цільового матеріалу, щоб забезпечити основу для подальшої заміни цільового матеріалу та оцінки продуктивності.
Технічне обслуговування електричної системи
1. Перевірка живлення: живлення обладнання для розпилення магнетрону забезпечує енергію для процесу розпилення, і його стабільність має вирішальне значення. Регулярно перевіряйте, чи є вихідна напруга та струм джерела живлення в межах нормального діапазону. Ви можете використовувати професійні електричні вимірювальні прилади для виявлення джерела живлення, щоб перевірити, чи відповідають вихідні параметри значень налаштування обладнання. Якщо вихідна напруга або струм виявляється аномально, причину слід негайно дослідити. Це може бути несправністю у внутрішніх компонентах джерела живлення або проблемою з з'єднанням лінії. Крім того, перевірте розсіювання тепла джерела живлення, щоб забезпечити, щоб джерело живлення може нормально розсіювати тепло під час роботи. Блок живлення генерує багато тепла при роботі тривалий час. Якщо розсіювання тепла є поганим, це може завдати шкоди компонентам. Очистіть пил на радіаторі живлення, щоб переконатися, що вентилятор охолодження працює нормально.
2. Технічне обслуговування електричного ланцюга: Перевірте, чи старіє електричний ланцюг всередині обладнання. Після тривалого використання електричний ланцюг може мати такі проблеми, як старіння ізоляційного шару та пошкодження дроту, що призведе до небезпеки безпеки та вплине на нормальну роботу обладнання. Для старіння або пошкоджених схем, які знайшли, їх слід замінити вчасно. У той же час переконайтеся, що з'єднання лінії є твердим, щоб уникнути розпусності, що спричиняє поганий контакт. Під час роботи обладнання може генерувати іскри під час роботи обладнання, пошкодити компоненти обладнання або навіть спричинити пожежу. Регулярно затягніть гвинти точок з'єднання лінії та перевіряйте контакт між вилкою та розеткою.
3. Технічне обслуговування системи управління: Система управління обладнанням відповідає за моніторинг та регулювання різних параметрів процесу розпилення. Регулярно резервуйте дані в системі управління, щоб запобігти втраті даних. У той же час перевірте, чи є підказки для оновлення для програмного забезпечення системи управління. Своєчасні оновлення програмного забезпечення можуть виправити відомі вразливості та покращити стабільність та функцію системи. Крім того, очистіть робочий інтерфейс системи управління, щоб переконатися, що кнопки та відображення екрана працюють належним чином, а оператор може точно вводити параметри та отримати інформацію про роботу обладнання.
Обслуговування системи охолодження
1. Огляд охолоджуючої рідини: Система охолодження використовується для зменшення тепла, що утворюється обладнанням під час роботи. Охолоджуюча рідина - це ключове середовище системи охолодження. Регулярно перевіряйте рівень теплоносія, щоб переконатися, що рівень знаходиться в межах норми. Рівень теплоносія знизиться через випаровування, витоки тощо під час тривалого використання. Занадто низький рівень вплине на ефект охолодження. У той же час перевірте якість теплоносія і зауважте, чи охолоджуюча рідина знебарвлюється, мутливою чи має запах. Якщо теплоносій погіршується, його слід замінити вчасно. Зазвичай рекомендується замінювати охолоджуючу рідину кожні 1-2 роки. Конкретний цикл заміни можна визначити відповідно до використання обладнання та рекомендацій виробника.
2. Обслуговування труб охолодження: Перевірте, чи заблокована труба охолодження. Внутрішня труба охолодження може бути заблокована через накопичення масштабу, домішок тощо, що впливає на нормальний потік теплоносія. Трубу можна очистити шляхом хімічного очищення або фізичного очищення. Хімічне очищення може використовувати спеціальний очисний засіб труби, але звертати увагу на концентрацію очисного засобу та час очищення, щоб уникнути корозії до труби. Фізичне очищення може здійснюватися за допомогою промивання водяного пістолета високого тиску та інших методів. Крім того, перевірте герметизацію охолоджуючої труби, щоб запобігти витоку теплоносія. Якщо в трубі знайдено витік, пошкоджені деталі труби повинні бути відремонтовані або замінені вчасно.
3. Перевірка обладнання для охолодження: Перевірте водяний насос, радіатор та інше обладнання в системі охолодження. Переконайтесь, що водяний насос працює нормально. Крильчатка водяного насоса може впливати на насосну ємність через знос. Якщо водяний насос виявляється накачати аномально, водяний насос повинен бути відремонтований або замінений вчасно. Перевірте, чи заблоковані плавники радіатора радіатора, очистіть пил і сміття на плавниках теплового раковини та переконайтесь, що радіатор міг ефективно розсіювати тепло. У той же час перевірте роботу вентилятора охолодження, щоб переконатися, що вентилятор може забезпечити охолоджувальне повітря для радіатора нормально.
Очищення обладнання та обслуговування навколишнього середовища
1. Очищення поверхні обладнання: регулярно очистіть поверхню обладнання для розпилення магнетрона для видалення пилу, олії та інших забруднюючих речовин. Ви можете використовувати чисту м’яку тканину, щоб зануритися у відповідну кількість миючого засобу і обережно витерти поверхню обладнання. Для деяких впертих плям ви можете використовувати спеціальний очищувач обладнання, але будьте обережні, щоб уникнути входу в внутрішню частину обладнання. Після очищення протріть поверхню обладнання чистою тканиною, щоб зовнішній вигляд обладнання в чистоті.
2. Чисте робоче середовище: Робоче середовище обладнання також має важливий вплив на його продуктивність та життя. Зберігайте робоче середовище в чистоті, регулярно чистіть пил на землі та уникайте занадто багато пилу входити в обладнання. Контролювати температуру та вологість робочого середовища. Як правило, обладнання для розпилення магнетрона підходить для роботи в середовищі з температурою 20-25 та відносною вологості 40%-60%. Для регулювання температури та вологості може бути встановлено кондиціонер та обладнання для дегумітифікації. Крім того, переконайтеся, що робоче середовище буде добре провітрюване, щоб запобігти накопиченню теплового та вихлопного газу, що утворюється під час роботи обладнання.
Коротше кажучи, щоденне обслуговування обладнання для розпилення магнетронів охоплює кілька аспектів, таких як вакуумна система, ціль для розпилення, електрична система, система охолодження, очищення обладнання та обслуговування навколишнього середовища. Оператори повинні суворо слідувати посібнику з технічного обслуговування виробника обладнання для регулярного обслуговування, негайно виявити та вирішити потенційні проблеми, щоб забезпечити стабільну роботу обладнання, покращити термін служби обладнання та таким чином покращити якість та ефективність виробництва розпиленої плівки.
