1. Вакуумна камера
Вакуумна камера є основною частиною вакуумного покриття. Основна його функція полягає у створенні вакуумного середовища та збереження процесу покриття у вакуумному стані. Вакуумна камера зазвичай виготовляється з матеріалів з нержавіючої сталі або алюмінієвого сплаву, з високою вакуумною герметизацією та резистентністю до корозії.
2. Насосна система
Насосна система є однією з ключових компонентів машини вакуумного покриття. В основному відповідає за вилучення газу у вакуумній камері, щоб ступінь вакууму досягла необхідного ступеня. Насосна система зазвичай складається з молекулярних насосів, механічних насосів та дифузійних насосів. Різні комбінації насосів можуть досягти різних вакуумних градусів та швидкості накачування.
3. Пристрій для стиснення підкладки
Пристрій для стиснення підкладки - ще один важливий компонент вакуумного покриття. Він використовується для виправлення матеріалу підкладки для покриття та управління його положенням та траєкторією руху. Пристрій для стиснення підкладки зазвичай складається з обертової таблиці, механізму підйому та затискача підкладки. Різні затискачі можуть адаптуватися до субстратів різних форм і розмірів.
4. Система опалення
Система опалення є необхідним компонентом у вакуумному покритті машини. Він може нагрівати підкладку та покриття матеріал для сприяння утворенню покриття та покращити його якість. Система нагріву зазвичай реалізується за допомогою дроту опору, електромагнітного нагріву, індукційним нагріванням та іншими методами.
5. Джерело покриття
Джерело покриття - це останній компонент у вакуумному покритті машини. Він використовується для надання матеріалу, який потрібно покрити, як правило, включаючи метали, кераміку, кремній та інші матеріали. Джерело покриття може осадити матеріал на підкладці електронним променем, випаровуванням, розпиленням та іншими методами для формування необхідного покриття.
Короткий зміст: Машина вакуумного покриття-це пристрій, який використовується для виготовлення високоякісних покриттів, в яких вакуумна камера, насосна система, пристрій для затискання підкладки, система нагріву та джерело покриття є його основними компонентами. Ці компоненти працюють разом для завершення процесу підготовки покриття.
