Машина для оптичного вакуумного покриття складається з вакуумної системи, системи випаровування, системи охолодження та електричної системи. Вакуумна система складається з вакуумної ємності та витяжної системи. Вакуумний резервуар є основним корпусом машини для нанесення покриття, і процес покриття завершується у вакуумному резервуарі. Вакуумний бак і витяжна система з'єднані з'єднувальним клапаном. Щоб запобігти впливу молекул повітря на розпорошені іони та покращити якість шару плівки, оптичні компоненти та джерело іонів повинні бути поміщені у вакуумне середовище під час роботи.
Вихлопна система в основному складається з механічного насоса, насоса Рутса та вакуумного насоса, який відповідає за відкачування газу у вакуумному резервуарі та формування вакуумного середовища в резервуарі. Система випаровування в основному відноситься до пристрою для формування плівки. У машині для нанесення покриття є багато типів пристроїв для формування плівки, таких як резистивне нагрівання, випаровування електронною гарматою, магнетронне напилення, радіочастотне напилення, іонне покриття тощо.
Машини для нанесення оптичних вакуумних покриттів наносять тонкі плівки на оптичні компоненти за допомогою вакуумного напилення, змінюючи коефіцієнт відбиття та пропускання падаючого світла. Щоб мінімізувати втрати від відбиття на поверхні компонента та покращити якість зображення, часто наносять кілька шарів тонких плівок. Після покриття оптичного компонента світло багаторазово відбивається та пропускається на поверхні багатошарової плівки, утворюючи численні промені перешкод. Контролюючи товщину та показник заломлення шарів плівки, можна досягти різного розподілу інтенсивності. Цей принцип можна використовувати для виготовлення поляризаційних відбиваючих плівок, плівок, що розділяють колір, плівок холодного світла та інтерференційних фільтрів для задоволення складніших потреб.
