Ефективність герметизації є вирішальним аспектом розробки обладнання для вакуумного покриття, оскільки його якість безпосередньо впливає на те, чи можна досягти рівня вакууму, необхідного для покриття, під час подальшого процесу вакуумування. Якщо ця вимога не виконується, це безпосередньо вплине на формування та якість плівки. Щоб забезпечити хорошу герметичність обладнання або систем вакуумного покриття, недостатньо просто знайти та заблокувати витоки після встановлення. Необхідно проводити вакуумне виявлення витоків на всіх етапах проектування, виготовлення, введення в експлуатацію та використання обладнання або системи вакуумного покриття.
Проектні міркування дляМашина для нанесення вакуумного покриття
1. Визначте загальну максимально допустиму швидкість витоку вакуумного обладнання на основі вимог процесу, а потім визначте максимально допустиму швидкість витоку кожного компонента на основі цієї загальної швидкості витоку.
2. Виходячи з максимально допустимої швидкості витоків та інших показників обладнання, попередньо визначити методи виявлення витоків, які будуть використовуватися на етапі проектування, і використовувати це як один із основних принципів, керуючих введенням в експлуатацію та прийманням.
3. Виходячи з показників максимально допустимої швидкості витоку обладнання або компонентів, визначте методи ущільнення та з’єднання та загальну точність обробки обладнання, а також який тип динамічного ущільнення може відповідати вимогам. Наприклад, чи використовувати металеві або гумові ущільнення для фланців.
4. Розраховуючи структурну міцність контейнера, враховуйте опір тиску та структурну міцність, необхідні для перевіреного компонента, якщо використовується метод виявлення витоку під тиском.
5. Вибираючи конструкційні матеріали для компонентів, зверніть увагу на те, чи використовуються матеріали, які можуть піддаватися корозії та пошкодженню робочим середовищем і газом-для перевірки витоку.
6. Під час структурного проектування на контейнері або системі слід передбачити необхідні запасні інтерфейси для приладів виявлення витоків для використання під час складання обладнання та введення в експлуатацію. Особливо для великих і складних систем трубопроводів часто потрібні сегментовані методи виявлення витоків; отже, сегментовані ізолюючі клапани повинні бути встановлені на трубопроводі, а інтерфейси приладів для виявлення витоку повинні бути зарезервовані на кожному ізолюючому сегменті.
7. Під час проектування структурних компонентів уникайте схем проектування, які можуть заважати виявленню витоку. Наприклад, глухі отвори не слід використовувати для отворів для гвинтів у вакуумній камері, тому що після встановлення гвинта газ, що залишився всередині отвору для гвинта, може виходити лише через зазор різьби, утворюючи помилковий витік. Це подовжує час евакуації системи та перешкоджає нормальному виявленню витоку. Дивіться на схемі структури, які не повинні з’являтися під час виявлення вакуумного витоку.
8. Подібним чином, неперервні дво-зварні шви та багато-шарові структури ущільнювальних кілець не допускаються в конструктивному проекті, оскільки вони створять «паразитний об’єм» у середині, що призведе до витоку газу всередині. Крім того, коли внутрішній і зовнішній зварні шви або ущільнювальні кільця витікають одночасно, «паразитний об’єм» робить час відгуку витоку газу на проходження через дво-шарове зварювання надто довгим, унеможливлюючи нормальне виявлення витоку.
9. При проектуванні зварних конструкцій зведіть до мінімуму кількість зварних швів, які не можуть бути виявлені на течі після остаточного складання.
Наведені вище пункти є запобіжними заходами для виявлення витоків у обладнанні для вакуумного покриття. Якість виконання герметизації безпосередньо визначає, чи може обладнання бути успішно прийнято та чи відповідає його якість стандартам.
