Вимоги до робочого середовища вакуумного покриття

Машина вакуумного покриття в основному відноситься до покриття, яке потрібно проводити під високим вакуумом, включаючи випаровування вакуумних іонів, розпилення магнетрону, епітаксію молекулярного променя, осадження лазерного розпилення PLD та багато інших типів. Основна його ідея розділена на випаровування та розпилення.
Вимоги до робочого середовища машини вакуумного покриття:
Обладнання вакуумного покриття повинно працювати в вакуумних умовах, тому обладнання повинно відповідати вимогам вакууму для навколишнього середовища. Вимоги до вакууму для навколишнього середовища, як правило, включають вимоги до вакуумного обладнання для лабораторної (або семінару) температури, повітря та інших частинок у навколишньому середовищі та вимог до деталей або поверхонь у вакуумі або вакуумі.
Ці два аспекти тісно пов'язані. Навколишнє середовище безпосередньо впливає на нормальне використання вакуумного обладнання; Незалежно від того, чи вакуумна камера чи деталі, встановлені у вакуумному обладнанні, безпосередньо впливають на продуктивність обладнання. Якщо у повітрі є багато водяної пари та пилу, важко досягти очікуваного вакууму шляхом накачування за допомогою масляного механічного насоса без очищення вакуумної камери. Добре відомо, що механічні насоси, що гріть нафта, не повинні викачувати гази, що містять пил твердих частинок, корозійні до металів та реагують на вакуумну олію. Водяна пара - конденсуючий газ. Коли викачується велика кількість конденсованого газу, забруднення насосного масла буде більш серйозним. Тому кінцевий вакуум насоса буде зменшено, а насосна продуктивність насоса буде порушена.
Пил у промислових умовах характеризується порошкоподібними тілами, безтимними очима та пилом. Порошок - це речовина в стані агрегації або дисперсії порошку або твердих частинок. Так званий порошок відноситься до колекції крихітних твердих частинок, а частинки відносяться до крихітних речовин, які можна підрахувати один за одним. Дим - це матеріальна система, в якій існують дрібні частинки твердого або рідини в плаваючому стані в газі. Речовини в зернистій стані, будь то тверді чи рідкі, спільно називаються частинками пилу. Стандарт чистоти повітря визначається розміром розміру пилу, тим самим налаштовуючи чистий сорт кімнати. Він застосовується не лише для промислових секторів з чистими вимогами, але і для вакуумних вимог до чистого середовища.