Принцип робочої машини з багатогодним покриттям

Машина з багатогодним покриттям генерує високотемпературну плазму через кілька джерел дуги (4-16), випаровує металевий матеріал і відкладає його на поверхні підкладки для досягнення ефективного покриття (рівномірність товщини плівки ± 5%). Його основна вакуумна камера розділена на камеру покриття (вакуумний ступінь менше або дорівнює 10^-3PA) та камері попередньої обробки. Перший забезпечує середовище з низьким впливом, а другий використовується для очищення та полірування підкладки для поліпшення адгезії. Ключові параметри процесу включають потужність джерела дуги (20-200a), температуру підкладки (100-300 градусів) та швидкість осадження (1-10 нм/с), які потрібно динамічно регулювати відповідно до форми підкладки (наприклад, складних вигнутих поверхонь) та матеріалу (метал/кераміка). Він підходить для таких сцен, як оптична лінза антирефлекційна плівка та інструмент жорсткого покриття.