Один. Регулярно замінюйте масло дифузійного насоса.
Масло дифузійного насоса використовується протягом часу, приблизно два місяці (дві зміни). Через тривалу -високу{2}}температуру середовища, навіть якщо дифузійний насос активовано лише за високого вакууму, залишковий кисень та інші компоненти можуть реагувати з маслом дифузійного насоса. Ця висока температура також може спричинити розкладання масла дифузійного насоса, погіршуючи його якість і подовжуючи час перекачування. Якщо ми вважаємо, що час прокачування надмірно подовжений, його слід замінити.
Два. Вакуумні насоси
Олива для механічних насосів і олива для техобслуговування зазнають змін у якості через два місяці використання. Це може статися через потрапляння вологи, домішок та інших факторів, які можуть спричинити погіршення в’язкості масла та зниження вакууму, що потребує заміни. Для нового обладнання заміну слід здійснити протягом перших двох тижнів використання. Під час перерви-олива містить високу концентрацію залізного пилу, що може збільшити знос.
три. Чистота та гігієна
Регулярно підтримуйте гігієну обладнання та його оточення, утримуючи всередині та зовні обладнання в чистоті, а територію навколо організовано для створення гарного робочого середовища та забезпечення безпеки.
чотири. ОчищенняОптична вакуумна машина для нанесення покриттів
Через тиждень роботи матеріал покриття покриватиме не лише поверхню заготовки, але й вкладиш усередині камери завдяки не-спрямованому покриттю. Поступово покриття стане густішим.
Ця плівка через свою пухку структуру та сплутаність поглинає велику кількість газу, через що обладнання для вакуумного нанесення покриття повільніше накачує повітря. У цей час слід очистити патронник і гільзу. Непотрібні частини для розбирання можна відшліфувати.
Гільзу можна змочити в розчині фтористоводневої кислоти. Співвідношення фтористоводневої кислоти до води слід визначати, виходячи з необхідного часу замочування та бажаного впливу на вкладиш. Перед монтажем вкладиш необхідно висушити.
Перед сушінням протріть вкладиш як можна насухо. Після очищення робочої рами та інших компонентів наждачним папером видаліть увесь пил із вакуумної камери. Це можна зробити за допомогою пилососа.
Нарешті, під час встановлення вкладиша вакуумну камеру та вкладиш слід очистити серветкою, змоченою спиртом. Використання електронної гармати та джерела іонів для допомоги у нанесенні покриття може ускладнити очищення; можна використовувати піскоструминну обробку або інші методи очищення.
