По-перше, ми повинні пояснити, що забруднення вакуумної камери по суті включає різні домішки (водяна пара, вуглеводні, пил, жир тощо), які прилипають до стінок камери або поверхонь внутрішніх компонентів, утворюючи джерела газу та пари, які порушують баланс вакуумного середовища. Ці забруднювачі походять із широкого спектру джерел, включаючи залишки ріжучої рідини та мастила від обробки заготовки, піт рук під час роботи, пил у повітрі та навіть слідові домішки, що вводяться вакуумним насосом або леткими речовинами з цільового матеріалу чи підкладки. Незалежно від типу забруднення, стратегія відновлення серцевини полягає в «точному видаленні домішок без пошкодження матеріалу камери та відновленні вакуумного середовища». Різні типи забруднень вимагають різних методів відновлення.
Спосіб 1: Нагрівання для «випаровування» забруднень - Метод очищення вакуумним нагріванням Це найпростіший і найпоширеніший метод реставрації. Принцип дуже простий: подібно до сушіння білизни з плямами від води, нагрівання викликає випаровування летючих домішок (таких як водяна пара та м’які вуглеводні) з поверхні порожнини, а потім вони видаляються вакуумним насосом, таким чином досягаючи очищення.
Спосіб 2: ультрафіолетове «розкладання» забруднень - Метод очищення ультрафіолетовим опроміненням. Якщо забруднення порожнини в основному складається з вуглеводнів (таких як залишки мастила та органічні забруднювачі), метод очищення ультрафіолетовим опроміненням буде більш ефективним. Крім того, він не-контактує та не-пошкоджує протягом усього процесу, що робить його особливо придатним для сценаріїв із надзвичайно високими вимогами до матеріалів, таких як прецизійні оптичні порожнини та напівпровідникові вакуумні порожнини.
Метод 3: Дезактивація іонним «бомбардуванням» - Метод очищення розрядом. Для порожнин із високим та над-високим вакуумом (таких як обладнання для вакуумного покриття та порожнини для напівпровідникової іонної імплантації) забруднення часто більш стійке, особливо вуглець і вуглеводні на поверхні порожнин із нержавіючої сталі, які важко видалити звичайними методами. У цьому випадку необхідний розрядний метод очищення, який також є основним методом глибокого відновлення вакуумних порожнин.
Спосіб 4: «Промивання» газом від домішок - Метод промивання газом Якщо порожнина лише незначно забруднена або якщо потрібне швидке відновлення та скорочення часу відкачування, промивання газом є найкращим вибором. Він поділяється на промивання азотом і промивання реактивним газом, які підходять для різних сценаріїв.
Слід приділити увагу захисту після-забруднення: після реставрації порожнину слід тримати подалі від масла та пилу. Під час роботи слід вживати захисних заходів, а вакуумний насос слід регулярно обслуговувати, щоб зменшити можливість повторного забруднення. Це особливо важливо в галузях з надзвичайно високими вимогами до чистоти, таких як напівпровідники та авіакосмічна промисловість, де чистота порожнин безпосередньо визначає термін служби та продуктивність продукту. Чистота вакуумної порожнини є «рятувальним кругом» високо-вакуумних процесів. Фактично, освоївши ці чотири основні методи реставрації ядра та гнучко вибравши відповідний метод на основі ступеня забруднення та матеріалу порожнини, можна легко вирішити проблеми забруднення порожнини, забезпечуючи стабільну роботу вакуумної системи. З розвитком індустрії точного виробництва технологія вакуумного очищення також постійно вдосконалюється, від традиційного очищення нагріванням до екологічно чистого та ефективного розряду та плазмового очищення. Все більше і більше методів гарантують чистоту вакуумних порожнин, захищаючи високо-виробництво.
Ласкаво просимо відвідати наш Tiktokhttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine за більше машинних відео, дякую.
