
Будь-який твердий матеріал розчиняє та адсорбує деякі гази в атмосфері. При розміщенні у вакуумі ці матеріали виділяють гази через десорбцію. Швидкість дегазації пропорційна вмісту газу в матеріалі. Склад газу, температура і час десорбції змінюються в залежності від матеріалу.
Різні насоси мають різну швидкість перекачування газів різного складу. Під час відкачування вакууму перше, що потрібно відкачати, — це атмосфера в контейнері (цей газ швидко відкачується, і при 10-1Па піч фактично повністю виснажується). Далі йде газ, десорбований з поверхні матеріалу, газ, що дифундує з внутрішньої частини матеріалу на поверхню, і газ, який проникає через стінку посудини у вакуум.
Тому після потрапляння товару в піч його необхідно ізолювати та дегазувати. Це пояснюється тим, що товари поглинають деякі гази-домішки перед тим, як потрапити в піч, і нам потрібно використовувати відповідне нагрівання, щоб дозволити цим газам десорбуватися з поверхні товарів. Беручи як приклад нержавіючу сталь, окрім газів, адсорбованих на її поверхні, деякі гази також виділятимуться зі сталі під час безперервного нагрівання та процесу ізоляції. Присутність цих газів часто має значний вплив на чистоту та колір плівки, а також має значний вплив на адгезію шару плівки.
З наведеного вище вступу ви повинні знати, чому в машинах для вакуумного нанесення покриттів потрібні нагрівальні аксесуари. Для досягнення необхідного вакуумного середовища та нанесення високо{1}}якісних шарів плівки важливо налаштувати нагрівальні аксесуари в камері машини для вакуумного покриття.
